在微壓測量領域中，由于壓力數值較小，對敏感元件產生的物理變化也相應的小很多，這就要求了敏感元件需要具有較高的靈敏度。諧振式壓力傳感器由于靈敏度較高，頻率對壓力的變化更為敏感，因此在低壓高精度的測量中，有著比較好的性能表現，相對價格也比較高。當精度要求不是很高的情況下，擴散硅和電容式可以兼顧精度和成本。例如電容式真空傳感器，利用被測介質的介電常數的變化，可以精確的測量低真空度。擴散硅壓力傳感器的靈敏度相對較大，部分可以達到（1~2）mV/V/kPa，也可應用于微壓下的表壓絕壓測量。

    在低壓和中壓的測量應用中，可選擇范圍較為廣泛，高精度可選諧振式，中等精度水平可以選用擴散硅式，陶瓷電容電阻式，金屬應變式等傳感器。擴散硅式靈敏度高，體積小，生產工藝復雜，相對成本略高；陶瓷式成本低，精度低，適合大批量低成本應用，受限于材料的特性，靈敏度較低，不耐壓力瞬變和機械沖擊；金屬應變式兼顧成本和精度，采用熱處理的彈性體，可以適應不同的測量介質要求，敏感元部分根據不同的工藝，有濺射薄膜，玻璃微熔，應變片等，覆蓋低靈敏度到高靈敏度的范圍，受限于彈性體工藝限制，在低壓力下的測量時，精度較差，優點是金屬的彈性體可以承受較大的沖擊。

    中高壓的應用中，擴散硅和金屬應變式各有著廣泛的應用，陶瓷受限于材料的強度，高壓耐受強度較差。高壓應用中，金屬應變式有較大的優勢，得益于金屬彈性體材料的強度，可以承受幾百兆帕的壓力，同時能夠應對較大沖擊的應用場景，例如在石油壓裂領域有著非常廣泛的應用。

    壓力傳感器按照準確度等級來看，覆蓋從高精度的0.01級到低精度的4.0級，通常諧振式壓力傳感器能覆蓋從低壓到高壓，0.01級到0.05級的測量要求，擴散硅傳感器的精度等級范圍為0.02~0.5級，陶瓷類的傳感器等級為0.2~4.0級，金屬應變式0.5~4.0級。