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PPM-T322B系列濺射薄膜壓力傳感器
- 分類:行業新聞
- 作者:csppm
- 來源:長沙鈦合電子
- 發布時間:2021-02-01 11:20
- 訪問量:
【概要描述】PPM-T322B濺射薄膜壓力傳感器,采用離子束濺射薄膜技術,一體化結構,高靈敏度壓力芯體,適用溫度范圍寬,長期穩定性好等特點。主要應用于高端工業現場和軍事裝備。可提供產品定制服務。
PPM-T322B系列濺射薄膜壓力傳感器
【概要描述】PPM-T322B濺射薄膜壓力傳感器,采用離子束濺射薄膜技術,一體化結構,高靈敏度壓力芯體,適用溫度范圍寬,長期穩定性好等特點。主要應用于高端工業現場和軍事裝備。可提供產品定制服務。
- 分類:行業新聞
- 作者:csppm
- 來源:長沙鈦合電子
- 發布時間:2021-02-01 11:20
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濺射薄膜壓力傳感器/變送器是貼片式壓力傳感器的升級產品,是利用薄膜技術在彈性上直接制作應變電路的一體化的敏感元件,一方面采用傳統的電測原理,選取了傳統的優勢技術;另一方面采用現代薄膜工藝技術,克服了以往易出現的部分弊端。所以,由于濺射薄膜壓力傳感器/變送器的各項性能指標的提高,特別適合要求穩定性好、溫度范圍廣等惡劣條件的環境下應用。
濺射薄膜壓力傳感器/變送器的敏感元件一般有兩種形式,1:直接在絕緣基底上。2:在金屬彈性體上先制作一層絕緣介質層,再在上面制作金屬膜,通過一系列的工藝形成應變圖和電極,重點是在制作好后會在敏感元件上加一層保護層。目前常用的是第2種。采用的結構形式是濺射薄膜壓力敏感元件的工作原理和傳統的應變式壓力傳感器的原理一樣,敏感元件的應變圖形由四個應變電阻組成惠斯墩電橋,隨著被測壓力的變化彈性體產生變形,電橋的四個電阻感知彈性體的應變,產生電阻值變化,通過應變電測測量壓力。
濺射薄膜壓力傳感器的主要制作工藝包括膜片的研磨拋光(其目的是為了讓敏感元件的溫度性能、絕緣強度、產品成品率較好)、清洗(成膜前需要經過化學試劑超聲波清洗和離子轟擊清洗兩道工藝)、成膜(常用射頻濺射、離子東濺射兩種。)、制作光化學圖形和(其目的是為了對膜片材料、電阻材料基本上不腐蝕,可以很好地控制腐蝕終點)、表面保護(目前大部分薄膜壓力敏感元件生產廠家使用的材料為SiO2)等。
主要技術指標:
被測介質: 液體、氣體及蒸汽
壓力類型 :密封參考壓力、通氣表表力
量 程 : 0~6bar、16bar、20bar、50bar、160bar、250bar、400bar、600bar、800bar、1000bar、1600bar 、2000bar、2500barr、3000bar
供電電源: 9V~36VDC
輸出信號 : 4~20mA、0~10VDC、0~5VDC、0.5~4.5VDC可選擇
安裝螺紋: M20 × 1.5、G1/2、1/2NPT、1/4NPT、G1/4 其它定制
電氣接口:M20 × 1.5 出線
非線性:≤0.05%FS
重復性:0.1%FS
長期穩定性:0.15%FS/年
工作介質溫度; -45℃~+155℃
工作環境溫度:-43℃~+135℃
應用:石油化工、水利冶金、電力、輕工紡織、建材、水文地質、食品、醫藥、環保環境控制等行業工業現場監測與控制中氣體、液體及蒸汽的壓力測量
PPM-T322B濺射薄膜壓力傳感器/變送器,采用離子束濺射薄膜技術,一體化結構,高靈敏度壓力芯體,適用溫度范圍寬,長期穩定性好等特點。主要應用于高端工業現場和軍事裝備。可提供產品定制服務。
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